精餾是實現(xiàn)多級部分氣化和多級部分冷凝的實用技術(shù)。精餾提純是耐超高溫玻璃原料生產(chǎn)工藝中的一個重要工藝。在化學提純中,精餾提純是極為有效的重要方法之一。在硅的提純過程中,SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2、SiH4均可以采用精餾技術(shù)進行提純。精餾是利用不同組分沸點不同,同一溫度下各組分蒸汽壓不同的特點進行的,設備以板式塔為主,有泡罩塔、篩板塔和浮閥塔,另外還有填料塔,其中篩板塔和填料塔是SiCl4提純的重要設備。
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